无尘室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室:
  ⑴天花板系统
  包括吊杆(Ceilingrod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceilinggrid或Ceilingframe)。
  ⑵空调系统
  包括空气舱、过滤器系统、风车等。
  ⑶隔墙板(Partitionalwall)
  包括窗户、门。
  ⑷地板
  包括高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面。
  ⑸照明器具
  包括日光灯、黄色灯管等。
  ⑹无尘室之建筑主体构造
  一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件:
  A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;
  B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;
  C.吸湿性小;
  D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高;